| 機械名称 | メーカー/形式・仕様 | 台数 |
| ダイシングマシーン | ディスコ/D3650(ツインスピンドル) | 1 |
| ダイシングマシーン | 東京精密/SS30 | 1 |
| ダイシングマシーン | 東京精密/A-WD-10B | 2 |
| 顕微鏡 | Nikon6台、他2台 倍率6~50倍 | 8 |
| マンティス | Vision社製拡大鏡 2~10倍 | 15 |
| UV紫外線硬化装置 | FKS-300W-LED | 2 |
| ベーパー洗浄機 | エー・エス・ケー社 | 1 |
| 包装機 | 1 | |
| クリーンルーム | クラス10000 | 36.0㎡ |
| 測定顕微鏡 | ミツトヨ MF-U(200×100) | 1 |

